لایه نشانی لیزر پالسی PLD

لایه نشانی لیزر پالسی PLD
تعداد رای : 1

لایه‌نشانی پالسی لیزری (PLD) یکی از روش‌های رسوب‌نشانی فیزیکی از فاز بخار (PVD) است که از تحریک گرمایی برای تبخیر، انتقال و نشست اتم‌های تارگت بر روی زیرلایه استفاده می‌کند. همانند همه روش‌های مشابه لایه­نشانی، اجزای اصلی دستگاه متشکل از یک تارگت (تعیین کننده جنس پوشش) و یک زیرلایه (که باید پوشش بر روی آن بشیند) روبروی هم قرار گرفته در یک محفظه متصل به پمپ‌های خلا است که در حین لایه­نشانی، تابش یک لیزر تارگت را تحریک می‌کند. 
در این روش مکانیزم گرمایش، تابش یک لیزر پالسی و فوکوس آن بر روی تارگت است. لیزر سبب می‌شود به صورت سطحی و موضعی دمای تارگت بالاتر از دمای ذوب و تبخیر آن رود. در نتیجه ابری از ماده تبخیر شده بوجود می‌آید که به سمت زیرلایه حرکت می‌کند. برای تشویق نشست اتم‌های تبخیر شده تارگت بر روی زیرلایه، معمولا زیرلایه نیز گرم می‌شود. هر چند PLD از لحاظ سخت افزاری، تکنیکی راحت بوده و تکرار پذیری خوبی دارد، اما این لزوما به این معنی نیست که مکانیزم اندرکنش‌های آن به خوبی قابل ردیابی یا شناخته شده باشد. در واقع، واکنش‌هایی که در محفظه لایه‌شانی صورت می‌گیرد معمولا بسیار پیچیده‌تر است. برخورد لیزر با سطح تارگت علاوه بر تبخیر تارگت، سبب پراکنش الکترون، یون‌ها و مولکلو‌ها از سطح آن نیز شده که در نتیجه آن پلاسما تشکیل می‌شود. اندرکنش لیزر با پلاسما نیز سبب پیچیده‌تر شدن واکنش‌های داخل محفظه می‌شود. لذا برای اکثر مواد پیدا کردن شرایط بهینه برای لایه‌نشانی، تا حدودی مستلزم به کارگیری آزمون و خطا است. در این روش امکان لایه‌نشانی مواد چند جزیی همچون آلیاژها نیز امکان‌پذیر است (ترکیب بخار شبیه ترکیب تارگت است)، همچنین در صورت استفاده از گازهای فعال در محفظه امکان ایجاد پوشش‌های ترکیبی نظیر نیتریدی و اکسیدی فراهم است. 
یکی از کاربردهای اصلی PLD در لایه‌نشانی برخی اکسیدهای فلزی هادی و نیمه‌هادی است. دیگر کاربردهای آن شامل لایه‌نشانی مواد نانواکسیدی، فلزات و کربن شبه الماس (DLC)است. با توجه به موفقیت این تکنیک در لایه‌نشانی بسیاری از مواد و کاربرد آن در بسیاری از حوزه‌ها، این تکنیک هنوز بیشتر به عنوان یک تجهیز آزمایشگاهی مطرح است که می‌تواند لایه‌های نازک با کیفیت بالا را برای تحقیق و توسعه مواد و ابزارهای جدید اعمال کند.

لایه‌نشانی پالسی لیزری (PLD) یکی از مناسب‌ترین روش‌ها برای ایجاد ساختارهای ناهمگن اکسیدی پیچیده، ابرشبکه‌ها و سطوح مشترک‌های کنترل شده است. کاربردهای دیگر شامل موارد زیر می‌شود:

  • صنایع الکترونیک (ترانزیستورها و ساخت دیودها)
  • صنایع میکروالکترومکانیکی (MEMS)
  • لایه‌نشانی PMMA پیش از لیتوگرافی
  • ساخت سنسورهای شیمیایی

لایه‌نشانی پالسی لیزری یکی از روش‌های لایه‌نشانی PVD است که می‌تواند فیلم‌های لایه نازکی از دسته وسیعی از مواد ایجاد کند. این دستگاه با پارامترهای قابل کنترلی که در اختیار قرار می‌دهد، قابلیت ایجاد ساختارهای درونی متفاوتی از جمله میکروساختارها، ساختار دانه‌ریز، نانوساختارها، نانوکامپوزیت‌ها و ... را از یک گونه ماده ارائه می‌دهد.

  • محل قرارگیری باید از لحاظ گرد و غبار و رطوبت تا حد امکان در پایین‌ترین شرایط آلودگی باشد.
  • ابعاد محل قرار گیری باید مناسب سایز دستگاه باشد تا کاربر براحتی بتواند در اطراف دستگاه حرکت نماید.
  • محلی برای قرار دادن پمپ زیر میز تعبیه شود.
  • شرایطی فراهم شود که امکان بستن کپسول‌ها به دیوار وجود داشته باشد.
  • افرادی که قصد استفاده از این دستگاه را دارند باید به خوبی آموزش و تعلیم داده شوند. 
  • دستگاه را روی زمین صاف و به دور از سایر وسایل برقی نصب نمایید.
  • همواره صحت کابل‌های الکتریکی ولتاژ بالا بررسی شود.
  • برای اطلاع جامع از نحوه استفاده دستگاه به کاتالوگ و راهنمای کاربری دستگاه مراجعه بفرمایید.
  • اطمینان از اتصال مناسب ارت دستگاه (کمتر از 0/5 اهم) حاصل شود. باشد در غیر این صورت شرکت هیچ گونه مسئولیتی در قبال خرابی دستگاه و آسیب دیدگی کاربران نخواهد داشت.
  • اطمینان از قرارگیری دستگاه در فضای مناسب جهت تهویه حاصل شود.
  • از قرارگیری دستگاه در مکان‌هایی که احتمال ریختن آب بر روی دستگاه وجود دارد خودداری نمایید. در غیر این صورت امکان شوک الکتریکی و یا آتش سوزی محتمل است.
  • هرگز از لوله‌های گاز، خطوط تلفن برای اتصال به زمین استفاده نکنید. اتصال نادرست دستگاه به زمین می‌تواند سبب شوک الکتریکی شود.
  • هرگز دستگاه را در محلی که گازهای انفجاری وجود دارد، روشن نکنید.

استاندارد های این محصول

  • گواهی نانومقیاس

    گواهی نانومقیاس

نظرات

نظرات

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

Captcha